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壓電式傳感器產(chǎn)品結(jié)構(gòu)原理

來(lái)源:未知 發(fā)布時(shí)間:2018-08-17熱度: ℃

  典型的力,壓力和加速度傳感器的表示如圖3所示。(灰色代表測(cè)試結(jié)構(gòu)。藍(lán)色對(duì)應(yīng)于傳感器外殼。壓電晶體為紅色。黑色電極是電荷來(lái)自的地方晶體在被黃色微電路調(diào)節(jié)之前積聚。加速度計(jì)還包含一個(gè)用綠色顯示的質(zhì)量。)注意,它們?cè)趦?nèi)部配置上差別很小。在測(cè)量運(yùn)動(dòng)的加速度計(jì)中,晶體迫使不變的地震質(zhì)量“M”跟隨基座和它所連接的結(jié)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)。使用牛頓第二運(yùn)動(dòng)定律可以很容易地計(jì)算出晶體上產(chǎn)生的力:F = MA。壓力和力傳感器幾乎相同,并依靠外力來(lái)拉緊晶體。主要區(qū)別在于壓力傳感器利用隔膜來(lái)收集壓力,該壓力僅僅是施加在區(qū)域上的力。

  

傳感器產(chǎn)品結(jié)構(gòu)原理

 

  圖3:傳感器結(jié)構(gòu)

  由于它們的相似性,用于測(cè)量一個(gè)特定參數(shù)的傳感器對(duì)其他輸入也有些敏感。通過(guò)***小化對(duì)不需要事件的敏感度,傳感器可以更準(zhǔn)確地測(cè)量其預(yù)期參數(shù)。例如,復(fù)雜的壓力傳感器通常利用補(bǔ)償元件來(lái)降低其對(duì)加速度的敏感度。其他傳感器采用熱補(bǔ)償放大器來(lái)降低傳感器的整體熱系數(shù)。***后,加速度計(jì)利用替代的剪切結(jié)構(gòu)傳感元件來(lái)減少熱瞬態(tài),橫向運(yùn)動(dòng)和基礎(chǔ)應(yīng)變的影響。

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